三維磁場探針臺(tái)測試系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021326388.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212905398U | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請公布號(hào) | CN212905398U | 申請公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號(hào) | G01R1/073(2006.01)I;G01R33/12(2006.01)I;G01R33/00(2006.01)I;G01R1/067(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 張學(xué)瑩;林冠屹;王麟 | 申請（專利權(quán)）人 | 致真精密儀器（青島）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京智繪未來專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 趙卿;肖繼軍 |
| 地址 | 266100山東省青島市嶗山區(qū)松嶺路393號(hào)北京航空航天大學(xué)青島研究院6號(hào)樓3層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種三維磁場探針臺(tái)測試系統(tǒng)，包括：基座、三維電磁鐵模塊、樣品承載模塊、探針臺(tái)模塊、顯微測量裝置；三維電磁鐵模塊包括：三維電磁鐵，磁鐵橋架和勵(lì)磁電源，三維電磁鐵為五極電磁鐵，包括一個(gè)垂直磁極和四個(gè)水平磁極或四極電磁鐵，包括四個(gè)水平磁極；使用勵(lì)磁電源同時(shí)為五個(gè)或四個(gè)磁極的線圈提供相應(yīng)的電流同時(shí)獲得包含水平方向和/或垂直方向組成的磁場、并且根據(jù)樣品的幾何尺寸，可以調(diào)整三維電磁鐵的磁極之間的間距并選擇樣品臺(tái)，最高可兼容24英寸樣品進(jìn)行測試，達(dá)到晶圓級樣品測試探針臺(tái)要求；本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)三維磁場探針測試功能，滿足較大樣品的測試需求，穩(wěn)定性高，并可以通過計(jì)算機(jī)軟件自動(dòng)控制。?? |
