基于磁光克爾效應(yīng)的磁性晶圓大視野成像方法和成像裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110548994.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113884443A 公開（公告）日 2022-01-04
申請公布號 CN113884443A 申請公布日 2022-01-04
分類號 G01N21/21（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張學(xué)瑩;趙巍勝;李紹新;孫蒲正 申請（專利權(quán)）人 致真精密儀器（青島）有限公司
代理機構(gòu) 北京華仁聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王希剛
地址 100083北京市海淀區(qū)學(xué)院路37號北京航空航天大學(xué)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了基于磁光克爾效應(yīng)的磁性晶圓大視野成像方法和成像裝置，所述方法包括以下內(nèi)容：通過磁光克爾成像光路將磁性晶圓內(nèi)部磁化狀態(tài)在計算機上顯示成像；具體為，所述磁光克爾成像光路包括偏振照明光路和偏振成像光路，先用偏振照明光路對磁性晶圓進(jìn)行照射處理，偏振成像光路收集被磁性晶圓反射的光形成圖像，成像光路將圖像傳送給計算機，計算機顯示圖像。本發(fā)明首次實現(xiàn)磁性晶圓大視野成像，可以提高對磁性晶圓性質(zhì)的快速檢測，尤其對磁性晶圓在工業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展和應(yīng)用具有重要意義。