一種柱狀靶材水冷旋轉(zhuǎn)單元

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210214204.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114717523A 公開（公告）日 2022-07-08
申請公布號 CN114717523A 申請公布日 2022-07-08
分類號 C23C14/34（2006.01）I;F25D1/02（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周磊;竇沛靜;丁媛 申請（專利權(quán)）人 四川艾龐機械科技有限公司
代理機構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 -
地址 629000四川省遂寧市高新區(qū)云錦路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種柱狀靶材水冷旋轉(zhuǎn)單元，涉及靶材冷卻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，能夠在為柱狀靶材提供旋轉(zhuǎn)驅(qū)動以及供電的同時，還能夠保證冷卻效果。一種柱狀靶材水冷旋轉(zhuǎn)單元包括殼體、水冷單元、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動單元以及通電單元。水冷單元可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在殼體中。靶材設(shè)置在水冷單元端部。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動單元設(shè)置在水冷單元上。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動單元用于驅(qū)動水冷單元轉(zhuǎn)動進而帶動靶材轉(zhuǎn)動。通電單元設(shè)置在殼體上并與水冷單元電連接。水冷單元在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動單元的驅(qū)動下，可以帶動靶材旋轉(zhuǎn)的同時冷卻靶材。通電單元可以在接通水冷單元，為靶材通電。同時通過冷卻單元與靶材的充分接觸，使得靶材的散熱面積增加，加強散熱效果。