一種新型肖特基芯片生產(chǎn)用高效清洗機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121322654.8 申請日 -
公開（公告）號 CN215354953U 公開（公告）日 2021-12-31
申請公布號 CN215354953U 申請公布日 2021-12-31
分類號 B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 楊冬冬 申請（專利權(quán)）人 南京國科半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 211806江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號12幢554室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種新型肖特基芯片生產(chǎn)用高效清洗機，涉及肖特基芯片生產(chǎn)用清洗技術(shù)領(lǐng)域。本實用新型包括底座，所述底座下部的內(nèi)腔開設(shè)有水箱，底座一側(cè)上部滑動連接有滑塊一，滑塊一前后側(cè)固定連接有導(dǎo)向桿一，滑塊一中部轉(zhuǎn)動連接有螺桿，螺桿端部卡接有搖把，底座另一側(cè)上部滑動連接有滑塊二，滑塊二前后側(cè)固定連接有導(dǎo)向桿二，導(dǎo)向桿二外部套設(shè)有連接桿。本實用新型通過滑塊、螺桿、連接桿、夾塊、電動伸縮桿和清洗裝置的配合作用，實現(xiàn)了對芯片的穩(wěn)定夾持且避免了傳動結(jié)構(gòu)暴露在清洗液內(nèi)導(dǎo)致傳動結(jié)構(gòu)腐蝕影響使用，大大延長了使用壽命且提高了清洗效率，方便了對芯片的放置和取出，避免對芯片造成損壞保證了質(zhì)量。