一種用于芯片制造中抽檢裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121306773.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215266210U 公開（公告）日 2021-12-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN215266210U 申請(qǐng)公布日 2021-12-21
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京國(guó)科半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 211806江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號(hào)12幢554室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及芯片制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于芯片制造中抽檢裝置，包括U型板，U型板的底端水平部位插設(shè)在循環(huán)傳動(dòng)帶之間，U型板的頂端水平部位上開設(shè)有長(zhǎng)條槽，長(zhǎng)條槽的內(nèi)部通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有與長(zhǎng)條槽平行的往復(fù)螺桿，往復(fù)螺桿的一端貫穿U型板且固定連接有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，長(zhǎng)條槽的內(nèi)部滑動(dòng)設(shè)置有方形滑塊，方形滑塊的上下兩面固定焊接有限位板，限位板與U型板滑動(dòng)抵壓接觸，往復(fù)螺桿貫穿方形滑塊且往復(fù)螺桿與方形滑塊之間螺紋連接，位于方形滑塊下方的限位板底面固定焊接有連接塊。本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在人為選樣畢竟帶有一定的主觀意見，不能完成體現(xiàn)出抽樣的公平公正的缺點(diǎn)，有益效果明顯，適合推廣。