一種晶圓芯片檢測觀察使用的壓片裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121703606.3 申請日 -
公開（公告）號 CN215377385U 公開（公告）日 2021-12-31
申請公布號 CN215377385U 申請公布日 2021-12-31
分類號 H01L21/687（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫婧雅 申請（專利權）人 南京國科半導體有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 211806江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號12幢554室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于晶圓固定設備技術領域，且公開了一種晶圓芯片檢測觀察使用的壓片裝置，包括底座，所述底座的頂部固定安裝有承物臺，所述承物臺左右兩側均固定安裝有固定塊，所述固定塊的內側之間固定安裝有圓軸，所述圓軸的外表面活動套接有滑動塊，所述圓軸的外表面固定套接有位于滑動塊右側的卡板。本實用新型通過設置圓軸、滑動塊、垂直架和橡膠壓塊，當垂直架向上運動時，此時橡膠壓塊可以解除對晶圓芯片的下壓效果，然后可以通過把手拉動垂直架，使得滑動塊在圓軸的外表面活動，進而使得橡膠壓塊可以從晶圓芯片的正上方脫離，以便工作人員進行取料以及后續(xù)的上料，操作簡單便利，提高了工作人員的作業(yè)效率。