壓力傳感器及其裝配方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110197715.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112985654B 公開(kāi)（公告）日 2022-06-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN112985654B 申請(qǐng)公布日 2022-06-10
分類(lèi)號(hào) G01L1/22（2006.01）I;G01L9/04（2006.01）I;G01L19/06（2006.01）I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 俞永和;王徐堅(jiān);李俊毅;郝正宏 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海洛丁森工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京方迪譽(yù)誠(chéng)專(zhuān)利代理有限公司 代理人 -
地址 201109上海市閔行區(qū)瓶安路1258號(hào)1幢5層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種壓力傳感器及其裝配方法，該壓力傳感器包括受壓機(jī)構(gòu)，測(cè)壓機(jī)構(gòu)和傳壓機(jī)構(gòu)，還包括過(guò)壓保護(hù)機(jī)構(gòu)，所述過(guò)壓保護(hù)機(jī)構(gòu)形成有空腔并且在該空腔中設(shè)置有隔膜，所述隔膜與所述空腔的腔壁共同形成至少一個(gè)位于導(dǎo)壓介質(zhì)傳導(dǎo)路徑中的緩沖空間，所述隔膜能夠在緩沖空間內(nèi)導(dǎo)壓介質(zhì)的壓力達(dá)到或高于預(yù)設(shè)閾值時(shí)發(fā)生偏移、低于該預(yù)設(shè)閾值時(shí)自動(dòng)復(fù)位。本發(fā)明提出的壓力傳感器，在實(shí)現(xiàn)外界過(guò)壓作用與敏感元件隔離的同時(shí)，可精確測(cè)量壓力、壓差和流量，尤其是在壓力過(guò)載時(shí)對(duì)傳感器芯片進(jìn)行過(guò)載保護(hù)，并且在過(guò)載保護(hù)完成后可以免于二次校驗(yàn)，繼續(xù)使用。