一種探針基準(zhǔn)補償系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201611210936.2 申請日 -
公開（公告）號 CN106643602A 公開（公告）日 2017-05-10
申請公布號 CN106643602A 申請公布日 2017-05-10
分類號 G01B21/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉超 申請（專利權(quán)）人 重慶與德通訊技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 上海晨皓知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海與德信息技術(shù)有限公司;重慶與德通訊技術(shù)有限公司
地址 201506 上海市金山區(qū)亭衛(wèi)公路6558號4幢1419室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及電子器件領(lǐng)域，公開了一種探針基準(zhǔn)補償系統(tǒng)及方法。本發(fā)明實施方式中，探針基準(zhǔn)補償系統(tǒng)包括探針補償設(shè)備、計算裝置以及軸機，探針補償設(shè)備與計算裝置以及軸機連接，計算裝置根據(jù)3D支撐曲面轉(zhuǎn)換為虛擬平面，探針補償設(shè)備根據(jù)虛擬平面與被測產(chǎn)品的基準(zhǔn)面的傾斜角度，控制軸機旋轉(zhuǎn)使虛擬平面與基準(zhǔn)面平行，其中，被測產(chǎn)品同一平面內(nèi)四個探測點位構(gòu)成被測產(chǎn)品的基準(zhǔn)面。本發(fā)明實施方式能有效節(jié)約探針時間，節(jié)省加工成本，提升產(chǎn)品品質(zhì)。