一種高精度外延膜厚監(jiān)控片及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510260171.2 申請日 -
公開（公告）號 CN104900494A 公開（公告）日 2015-09-09
申請公布號 CN104900494A 申請公布日 2015-09-09
分類號 H01L21/02(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 折宇;汪小軍;吳迪;黃鶴 申請（專利權(quán)）人 西安西岳電子技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 徐文權(quán)
地址 710068 陜西省西安市太白南路198號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高精度外延膜厚監(jiān)控片及其制備方法，對使用過的晶圓片的表面進(jìn)行處理，使其表面呈現(xiàn)裸硅狀態(tài)；清洗；對清洗過的輕摻雜晶圓片進(jìn)行處理使其生長氧化層；進(jìn)行N型或P型雜質(zhì)注入；進(jìn)行高溫處理；進(jìn)行表面處理，使其表面呈現(xiàn)裸硅狀態(tài)；進(jìn)行清洗，即得到外延膜厚監(jiān)控片。本發(fā)明制備的膜厚監(jiān)控片的表面摻雜濃度均勻性遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于CZ法制作的重?fù)诫s襯底片，增加了試爐膜厚結(jié)果的準(zhǔn)確性，使監(jiān)控結(jié)果能夠真實反應(yīng)機臺工藝狀態(tài)，最大程度降低由于監(jiān)控片監(jiān)控結(jié)果的不準(zhǔn)確造成的物料損失，產(chǎn)能降低及產(chǎn)品工藝參數(shù)超標(biāo)。