檢測光學(xué)系統(tǒng)任意波長透射波前的方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201910573002.2 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN110307962B | 公開（公告）日 | 2019-10-08 |
| 申請公布號 | CN110307962B | 申請公布日 | 2019-10-08 |
| 分類號 | G01M11/02(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 張齊元;韓森;吳鵬;王全召;李雪園 | 申請（專利權(quán)）人 | 蘇州維納儀器有限責(zé)任公司 |
| 代理機構(gòu) | 上海德昭知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 郁旦蓉 |
| 地址 | 215123江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)仁愛路150第二教學(xué)樓B109室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了兩種檢測光學(xué)系統(tǒng)任意波長透射波前的方法，一種是利用4種波長為λ1～λ4的激光干涉儀分別對復(fù)消色差光學(xué)系統(tǒng)進行檢測，進而通過Zernike多項式擬合波長為λn的光學(xué)系統(tǒng)的透射波前；另一種是通過利用4種波長為λ1～λ4的檢測裝置分別對光學(xué)系統(tǒng)進行檢測，進而通過離散點波前像差公式得到波長為λn的光學(xué)系統(tǒng)完整的透射波前。這兩種方法均能夠應(yīng)用在單波長系統(tǒng)、消色差系統(tǒng)以及復(fù)消色差系統(tǒng)中，從而解決主要的透射式光學(xué)系統(tǒng)任意波長波前檢測的問題。不僅使得特殊波長的激光干涉儀的檢測范圍變大，而且當(dāng)需要檢測一些特殊的光學(xué)系統(tǒng)時，也不需要使用造價昂貴的特殊波長的激光干涉儀進行檢測，節(jié)約了檢測成本。?? |
