多波長(zhǎng)激光干涉裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110896803.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113624456A 公開（公告）日 2021-11-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN113624456A 申請(qǐng)公布日 2021-11-09
分類號(hào) G01M11/02（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 韓森;張齊元;朱大勇;王芳;李雪園;王全召 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州維納儀器有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 上海德昭知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 郁旦蓉
地址 215123江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)仁愛路150第二教學(xué)樓B109室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種多波長(zhǎng)激光干涉裝置，其特征在于，包括：激光產(chǎn)生單元，用于產(chǎn)生多種不同波長(zhǎng)的激光光源；光源轉(zhuǎn)換單元，用于將激光光源轉(zhuǎn)換為點(diǎn)光源；分光單元，用于對(duì)點(diǎn)光源的進(jìn)行部分折射形成分光光束，導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，長(zhǎng)度方向與分光光束的光路方向一致，準(zhǔn)直單元，可移動(dòng)地設(shè)置在導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)上并且能夠沿導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，用于使分光光束形成平行光束并射入光學(xué)系統(tǒng)，從而反射形成參考光束以及測(cè)試光束；成像單元，用于對(duì)濾波后的參考光束以及測(cè)試光束進(jìn)行干涉成像，其中，準(zhǔn)直單元以及成像單元均采用消色差結(jié)構(gòu)，不同波長(zhǎng)至少包括一個(gè)可見光波長(zhǎng)以及一個(gè)近紅外波長(zhǎng)，準(zhǔn)直單元被調(diào)整為使得可見光波長(zhǎng)和近紅外波長(zhǎng)的激光光源共聚焦。