檢測光學(xué)系統(tǒng)任意波長透射波前的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010928541.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111999042B 公開（公告）日 2022-06-28
申請公布號 CN111999042B 申請公布日 2022-06-28
分類號 G01M11/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張齊元;韓森;吳鵬;王全召;李雪園 申請（專利權(quán)）人 蘇州維納儀器有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 上海德昭知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 215123江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)仁愛路150第二教學(xué)樓B109室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種檢測光學(xué)系統(tǒng)任意波長透射波前的方法，利用4種波長為λ1～λ4的檢測裝置分別對光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行檢測，再通過波前離散點(diǎn)Hλm（xi，yi）與波長公式計算得到光學(xué)系統(tǒng)在波長為λn時的透射波前。本方法均能夠應(yīng)用在單波長系統(tǒng)、消色差系統(tǒng)以及復(fù)消色差系統(tǒng)中，從而解決主要的透射式光學(xué)系統(tǒng)任意波長波前檢測的問題。不僅使得特殊波長的激光干涉儀的檢測范圍變大，而且當(dāng)需要檢測一些特殊的光學(xué)系統(tǒng)時，也不需要使用造價昂貴的特殊波長的激光干涉儀進(jìn)行檢測，節(jié)約了檢測成本。