檢測任意波長光學(xué)系統(tǒng)離焦位置透射波前的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810003808.3 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN108225743B 公開（公告）日 2019-10-11
申請公布號(hào) CN108225743B 申請公布日 2019-10-11
分類號(hào) G01M11/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張齊元; 韓森; 王全召; 李雪園 申請（專利權(quán)）人 蘇州維納儀器有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 上海德昭知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 郁旦蓉
地址 215123 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)仁愛路150第二教學(xué)樓B109室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種檢測任意波長光學(xué)系統(tǒng)離焦位置透射波前的方法，包括以下步驟：在利用激光干涉儀對(duì)光學(xué)系統(tǒng)檢測Zernike系數(shù)之前，利用激光干涉儀對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的單位長度的Zernike系數(shù)的變化系數(shù)ki(λm)進(jìn)行檢測，得到了公式：然后在利用激光干涉儀對(duì)光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行Zernike系數(shù)的測定，得到光學(xué)系統(tǒng)在聚焦位置時(shí)的Zernike系數(shù)，進(jìn)而得到公式：將得到的上述兩個(gè)公式帶入到公式中：Zi(λm,d)＝Zi(λm)+ki(λm)×Δd由于Δd可以測定，因此即可得到任意波長光學(xué)系統(tǒng)離焦位置的Zernike系數(shù)，進(jìn)而擬合得到任意波長光學(xué)系統(tǒng)離焦位置的透射波前。利用上述方法計(jì)算得到的任意波長光學(xué)系統(tǒng)離焦位置的透射波前，大大地降低了由于實(shí)際工作位置偏離聚焦位置而導(dǎo)致的誤差。