一種高純CIG合金濺射靶材吊裝轉(zhuǎn)運裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123006498.7 申請日 -
公開（公告）號 CN216613725U 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號 CN216613725U 申請公布日 2022-05-27
分類號 B66C1/22（2006.01）I 分類 卷揚；提升；牽引;
發(fā)明人 唐智勇 申請（專利權(quán)）人 株洲火炬安泰新材料有限公司
代理機構(gòu) 廣州粵高專利商標代理有限公司 代理人 -
地址 412000湖南省株洲市天元區(qū)天易科技城A5棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種高純CIG合金濺射靶材吊裝轉(zhuǎn)運裝置，包括底板，所述底板的表面開設(shè)有第一滑槽，所述第一滑槽的內(nèi)部滑動連接有第一滑塊，中間所述第一滑塊的內(nèi)部螺紋連接有螺桿，且螺桿的兩端均通過軸承與底板的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動連接，所述第一滑塊的表面栓接有夾緊板，所述底板的底部設(shè)置有減震機構(gòu)，所述底板的兩側(cè)均栓接有固定板，所述固定板的頂部栓接有固定筒，所述固定筒的內(nèi)壁開設(shè)有第二滑槽；本實用新型通過轉(zhuǎn)動螺桿帶動第一滑塊沿著第一滑槽移動使夾緊板相對移動的方式，能夠達到對靶材進行固定的目的，提高了裝置的安全性和穩(wěn)定性，避免了靶材掉落或者晃動造成不良后果的問題。