利用真空磁控濺射技術(shù)在PE隔膜表面制備陶瓷膜的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610635470.4 申請日 -
公開（公告）號 CN106169552A 公開（公告）日 2016-11-30
申請公布號 CN106169552A 申請公布日 2016-11-30
分類號 H01M2/14(2006.01)I;H01M2/16(2006.01)I;H01M10/0525(2010.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙斌 申請（專利權(quán)）人 深圳市第四能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)福田街道濱河大道5022號聯(lián)合廣場A座2608室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種利用真空磁控濺射技術(shù)在PE隔膜表面制備陶瓷膜的方法，該方法是將要處理的PE隔膜在凈化房內(nèi)分切成需要的尺寸后安裝在設(shè)備的放卷輥上；開啟Roll?Roll真空磁控濺射鍍膜設(shè)備，調(diào)整設(shè)備至可鍍膜工藝條件；開啟離子源轟擊PE膜，將聚烴高分子鍵部分打開；在聚烴分子鍵打開的同時，開啟中頻濺射陰極，利用中頻磁控濺射陰極反應(yīng)濺射Si靶材，形成SixNy?陶瓷材料嵌入到被打開的聚烴分子鍵位置，形成陶瓷膜；在真空狀態(tài)下進(jìn)行退火處理，消除陶瓷膜應(yīng)力；收?放卷連續(xù)濺鍍；整卷鍍膜完成；破真空；取下收券輥；取樣檢查性能；包裝入庫；它通過利用真空磁控濺射鍍膜技術(shù)在鋰電池用PE隔離膜上沉積一層陶瓷膜，改善PE隔膜對電解液的潤濕性和提高PE隔膜熱穩(wěn)定性。