一種藍寶石熱場結構
基本信息

| 申請?zhí)?/td> | CN202110726151.5 | 申請日 | - |
| 公開(公告)號 | CN113337885A | 公開(公告)日 | 2021-09-03 |
| 申請公布號 | CN113337885A | 申請公布日 | 2021-09-03 |
| 分類號 | C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 徐永亮;于海群;汪海波;劉飛;白偉 | 申請(專利權)人 | 內蒙古恒嘉晶體材料有限公司 |
| 代理機構 | 北京弘權知識產權代理有限公司 | 代理人 | 逯長明;許偉群 |
| 地址 | 015100內蒙古自治區(qū)巴彥淖爾市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)河套大街南、富源路東(八一鄉(xiāng)豐收村) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要

| 摘要 | 本申請?zhí)峁┑乃{寶石熱場結構,包括熱場結構本體、主加熱器和副加熱器,熱場結構本體內部設置有用于盛放籽晶的坩堝;在熱場結構本體內,主加熱器以環(huán)繞的形式設置在坩堝的外圍,主加熱器的外圍設置有保溫層,保溫層包括內保溫層和外保溫層,副加熱器設置在內保溫層和外保溫層之間的空腔中。本申請的技術方案中主加熱器構建長晶熱場梯度,并通過將原有的保溫層結構替換為保溫層加副加熱器的結構設計,在提供保溫性能的同時可以通過副加熱器提供輔助熱場梯度。通過主副加熱器的協(xié)同作用,可以滿足大公斤級晶體生長的熱場梯度,提高藍寶石熱場結構的經(jīng)濟適用性能。 |





