制備藍(lán)寶石晶體的改進(jìn)的泡生法及晶體生長(zhǎng)爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810398227.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108588832A 公開（公告）日 2018-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN108588832A 申請(qǐng)公布日 2018-09-28
分類號(hào) C30B29/20;C30B17/00 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 徐永亮;白偉;陳程;姜恒;于海群 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古恒嘉晶體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京弘權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 內(nèi)蒙古恒嘉晶體材料有限公司
地址 015100 內(nèi)蒙古自治區(qū)巴彥淖爾市巴彥淖爾經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)富源北路1號(hào)管委會(huì)大樓112室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例提供一種制備藍(lán)寶石晶體的改進(jìn)的泡生法及實(shí)施該方法的晶體生長(zhǎng)爐，該方法包括以下步驟：(a)將晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)抽真空，加熱使所述晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)坩堝中的氧化鋁原料熔化，得到熔體；(b)往所述晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)充入惰性氣體，維持爐內(nèi)壓力為0.1?100Pa；(c)在壓力為0.1?100Pa的所述惰性氣體氛圍下，將藍(lán)寶石籽晶放置于所述熔體的液面以下，進(jìn)行引晶、擴(kuò)肩生長(zhǎng)、等徑生長(zhǎng)和收尾生長(zhǎng)；(d)晶體生長(zhǎng)完成后進(jìn)行退火處理，得到藍(lán)寶石晶體。采用上述技術(shù)方案中的改進(jìn)的泡生法，可以減少熱場(chǎng)中鎢/鉬材料的零部件的升華損耗，減少氧化鋁熔體的蒸發(fā)，從而延長(zhǎng)熱場(chǎng)中鎢/鉬材料的零部件的使用壽命。