一種硅片拋光加工過程中拋光設(shè)備用蠟嘴保濕裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201922134728.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211388245U | 公開（公告）日 | 2020-09-01 |
| 申請公布號 | CN211388245U | 申請公布日 | 2020-09-01 |
| 分類號 | B24B29/02(2006.01)I;B24B57/02(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 吳泓明;黨國洋;鐘佑生;陳志剛;周軍磊 | 申請（專利權(quán)）人 | 鄭州合晶硅材料有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 鄭州聯(lián)科專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 鄭州合晶硅材料有限公司 |
| 地址 | 450000河南省鄭州市航空港區(qū)鄭港六路藍山公館202號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請屬于半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅片拋光加工過程中拋光設(shè)備用蠟嘴保濕裝置。該裝置包括：連接有阻凝液盛放容器的阻凝管路、以及固定阻凝管路的固定支架；所述阻凝液盛放容器，用于盛放阻凝管路與拋光設(shè)備的蠟嘴接觸處阻凝管路所流出的阻凝液；所述阻凝管路，一端與拋光設(shè)備的蠟嘴連接，另外一端與阻凝液輸送管路連接；所述固定支架，包括：豎向固定底座、橫向固定支架和阻凝管固定架三個部分。本申請所設(shè)計的蠟嘴保濕裝置，較好實現(xiàn)了蠟嘴保濕的目標，改善了長時間停機所造成蠟嘴管口凝固、堵塞等現(xiàn)象；對于確保硅片拋光加工過程中涂蠟均勻性、提高拋光良率具有較好的實用價值。?? |
