一種適用于半導體芯片測試系統(tǒng)的探針夾具
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202122293252.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN214503816U | 公開（公告）日 | 2021-10-26 |
| 申請公布號 | CN214503816U | 申請公布日 | 2021-10-26 |
| 分類號 | G01R31/28（2006.01）I;G01R1/04（2006.01）I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 洪斌 | 申請（專利權）人 | 福建慧芯激光科技有限公司 |
| 代理機構 | 泉州市博一專利事務所（普通合伙） | 代理人 | 洪淵源;蘇秋桂 |
| 地址 | 362100福建省泉州市惠安縣惠安縣螺陽鎮(zhèn)城南工業(yè)區(qū)站前路19號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種適用于半導體芯片測試系統(tǒng)的探針夾具，涉及半導體光電子技術領域，包括支架和探針固定器，探針固定器可調(diào)節(jié)地設置于支架，并且探針固定器設有用于夾持探針的夾持部。需要更換探針時，用探針固定器夾持探針，并將支架固定于半導體芯片測試設備的探針座旁側(cè)即可進行更換，操作簡單方便，有效提高了探針的更換速率，并且能避免因人為因素而造成的探針損傷，充分降低了測試成本。 |
