一種半導(dǎo)體晶圓邊緣去膠裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120595452.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214586381U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN214586381U 申請(qǐng)公布日 2021-11-02
分類(lèi)號(hào) G03F7/42（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 蔡敏;石正強(qiáng) 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 福建慧芯激光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 泉州市文華專(zhuān)利代理有限公司 代理人 陳云川
地址 362100福建省泉州市惠安縣螺陽(yáng)鎮(zhèn)城南工業(yè)區(qū)站前路19號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體晶圓邊緣去膠裝置，包括固定座，所述固定座上設(shè)置有可安裝晶圓的轉(zhuǎn)盤(pán)和能驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)，所述固定座的一側(cè)還設(shè)有除膠裝置，所述除膠裝置包括支架，擺臂和彈性部件，所述擺臂上設(shè)有用于去除所述晶圓邊緣膠的噴頭裝置，所述擺臂抵壓在所述晶圓上；當(dāng)除膠裝置開(kāi)始工作時(shí)，電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)，晶圓則隨著轉(zhuǎn)盤(pán)一起轉(zhuǎn)動(dòng)，擺臂上的噴頭裝置也朝著晶圓的邊緣噴涂清洗劑，當(dāng)擺臂靠近晶圓的缺邊時(shí)，由于彈性部件始終對(duì)擺臂施加彈力力，擺臂會(huì)一直抵壓在晶圓的邊緣上，從而對(duì)晶圓及晶圓的缺邊進(jìn)行有效的清洗。