一種用于化學機械拋光液的復合磨料

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201120475848.1 申請日 -
公開（公告）號 CN202322710U 公開（公告）日 2012-07-11
申請公布號 CN202322710U 申請公布日 2012-07-11
分類號 C09K3/14(2006.01)I;C08J5/14(2006.01)I;C09G1/02(2006.01)I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應用;
發(fā)明人 張磊;鄒宇琦;曹鳳凱;劉獻偉 申請（專利權(quán)）人 上海施科特光電材料有限公司
代理機構(gòu) 上海碩力知識產(chǎn)權(quán)代理事務所 代理人 上海施科特光電材料有限公司
地址 201403 上海市奉賢區(qū)航南公路3958號4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種用于化學機械拋光液的復合磨料，該復合磨料包含聚苯乙烯內(nèi)核以及包覆在所述聚苯乙烯內(nèi)核外的無定型二氧化硅殼層，所述復合磨料的粒徑為100-500nm。該復合磨料可以應用于化學機械拋光液，尤其是藍寶石襯底材料的拋光液，有助于提高拋光速率以及減少拋光后的表面粗糙度。