超結(jié)器件及其制造方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911098287.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112864246A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112864246A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-28 |
| 分類號(hào) | H01L29/06(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 曾大杰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 南通尚陽(yáng)通集成電路有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 郭四華 |
| 地址 | 226000江蘇省南通市崇川區(qū)崇川路79號(hào)國(guó)際青創(chuàng)園1號(hào)樓18層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種超結(jié)器件，超結(jié)器件各原胞形成于對(duì)應(yīng)的超結(jié)單元上，包括：溝道區(qū)和平面柵，柵漏電容為由平面柵對(duì)頂部漂移區(qū)和底部的第一導(dǎo)電類型柱進(jìn)行縱向耗盡形成的電容。超結(jié)單元中，第二導(dǎo)電類型柱會(huì)對(duì)第一導(dǎo)電類型柱進(jìn)行橫向耗盡，在保持超結(jié)單元的電荷平衡或使第二導(dǎo)電類型摻雜總量多以保證擊穿電壓滿足要求的條件下，超結(jié)單元的頂部區(qū)域中的第二導(dǎo)電類型柱的寬度設(shè)置為小于第一導(dǎo)電類型柱的寬度，以增加平面柵對(duì)第一導(dǎo)電類型柱的縱向耗盡并從而增加?xùn)怕╇娙?。本發(fā)明還公開(kāi)了一種超結(jié)器件的制造方法。本發(fā)明能增加器件的柵漏電容，能有效降低器件在應(yīng)用電路中的電磁干擾以及有效降低器件在應(yīng)用電路中帶來(lái)的電流和電壓的過(guò)沖。?? |
