太陽能電池硅片擴(kuò)散爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201120159647.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN202099414U 公開（公告）日 2012-01-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN202099414U 申請(qǐng)公布日 2012-01-04
分類號(hào) C30B31/16(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 呂定先 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南華威太陽能高科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 425000 湖南省永州市鳳凰園經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)林蔭路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種有效改善硅片表面方塊電阻均勻性的太陽能電池硅片擴(kuò)散爐，包括爐體、設(shè)置在所述爐體內(nèi)的石英舟、用于使擴(kuò)散氣體進(jìn)入所述爐體內(nèi)的進(jìn)氣管和擴(kuò)散處理后排放尾氣的排放管；所述進(jìn)氣管位于所述石英舟的上方，設(shè)有多個(gè)進(jìn)氣孔；所述排放管位于所述石英舟的下方，設(shè)有多個(gè)排放孔，所述石英舟底面設(shè)有多個(gè)流通孔，以便進(jìn)氣管進(jìn)入的擴(kuò)散氣體通過流通孔從排放孔排出，使得擴(kuò)散氣體沿著平行于硅片表面的方向流動(dòng)，從而有效地改善了硅片表面方塊電阻的均勻性。