一種MEMS結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110611828.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113194394A 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN113194394A 申請公布日 2021-07-30
分類號 H04R19/04（2006.01）I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 韓嬌;劉端 申請（專利權(quán)）人 安徽奧飛聲學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 230092安徽省合肥市高新區(qū)習(xí)友路3333號中國（合肥）國際智能語音產(chǎn)業(yè)園研發(fā)中心樓611-91室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種MEMS結(jié)構(gòu)，包括：襯底，具有空腔；壓電復(fù)合振動層，形成在所述襯底上方并且覆蓋所述空腔，其中，所述壓電復(fù)合振動層具有位于襯底上方的第一區(qū)域和位于所述空腔上方的第二區(qū)域，在所述第一區(qū)域內(nèi)凹槽從所述壓電復(fù)合振動層的上表面延伸至所述壓電復(fù)合振動層的下表面。本申請通過設(shè)置凹槽環(huán)繞第二區(qū)域，從而提高了MEMS結(jié)構(gòu)的靈敏度。