一種MEMS壓電超聲換能器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023292382.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214390968U 公開（公告）日 2021-10-15
申請公布號 CN214390968U 申請公布日 2021-10-15
分類號 B06B1/06（2006.01）I 分類 一般機械振動的發(fā)生或傳遞;
發(fā)明人 李冠華;劉端 申請（專利權(quán)）人 安徽奧飛聲學(xué)科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 230092安徽省合肥市高新區(qū)習(xí)友路3333號中國（合肥）國際智能語音產(chǎn)業(yè)園研發(fā)中心樓611-91室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種MEMS壓電超聲換能器，包括：襯底，具有空腔；第一電極層，形成在所述襯底上方并且覆蓋所述空腔；第一壓電層，形成在所述第一電極層上方；第二電極層，形成在所述第一壓電層上方；結(jié)構(gòu)層，形成在所述第二電極層上方；第三電極層，形成在所述結(jié)構(gòu)層上方；第二壓電層，形成在所述第三電極層上方，并且所述第一壓電層的壓電系數(shù)d31比所述第二壓電層的壓電系數(shù)d31大；第四電極層，形成在所述第二壓電層上方。本申請所提供的壓電超聲換能器兼具了良好的發(fā)射和接收聲波信號的功能。