一種MEMS結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022763908.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214205840U 公開（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN214205840U 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類號(hào) H04R19/00（2006.01）I;H04R19/04（2006.01）I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 李冠華;劉端 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽奧飛聲學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 230092安徽省合肥市高新區(qū)習(xí)友路3333號(hào)中國(guó)（合肥）國(guó)際智能語(yǔ)音產(chǎn)業(yè)園研發(fā)中心樓611-91室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開了一種MEMS結(jié)構(gòu)，包括：襯底，具有空腔；振動(dòng)支撐層，形成在所述襯底上方，并且具有內(nèi)部區(qū)域和外圍區(qū)域；壓電單元層，形成在所述振動(dòng)支撐層的所述內(nèi)部區(qū)域上方，所述壓電單元層懸置于所述空腔上方，并且所述壓電單元層位于所述空腔的投影區(qū)域內(nèi)；其中，所述振動(dòng)支撐層的所述外圍區(qū)域具有波浪形褶皺和貫穿通孔。在本申請(qǐng)的MEMS結(jié)構(gòu)中，壓電單元層懸置在空腔上方，可以釋放壓電單元層的邊緣應(yīng)力，避免正負(fù)電荷中和，從而提高靈敏度。