一種壓電式MEMS加速度傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120476987.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214409044U 公開（公告）日 2021-10-15
申請公布號 CN214409044U 申請公布日 2021-10-15
分類號 G01P15/09（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李冠華;劉端 申請（專利權(quán)）人 安徽奧飛聲學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 230092安徽省合肥市高新區(qū)習(xí)友路3333號中國（合肥）國際智能語音產(chǎn)業(yè)園研發(fā)中心樓611-91室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種壓電式MEMS加速度傳感器，包括：襯底，具有空腔；振動支撐層，形成在襯底上方并且覆蓋空腔；第一電極層，形成在振動支撐層上方；第一壓電層，形成在第一電極層上方；第二電極層，形成在第一壓電層上方；開口，位于空腔上方，并且從第二電極層的上表面連續(xù)延伸至第一電極層的下表面；質(zhì)量塊，位于開口區(qū)域內(nèi)，并且質(zhì)量塊與振動支撐層直接接觸。該MEMS加速度傳感器的諧振頻率易于調(diào)節(jié)諧振頻率。