一種MEMS結(jié)構(gòu)及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110663840.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113301484A 公開(kāi)（公告）日 2021-08-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN113301484A 申請(qǐng)公布日 2021-08-24
分類號(hào) H04R19/00（2006.01）I;H04R19/04（2006.01）I;H04R31/00（2006.01）I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 夏永祿;劉端 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽奧飛聲學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 230092安徽省合肥市高新區(qū)習(xí)友路3333號(hào)中國(guó)（合肥）國(guó)際智能語(yǔ)音產(chǎn)業(yè)園研發(fā)中心樓611-91室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種MEMS結(jié)構(gòu)，包括：襯底，具有空腔；壓電復(fù)合振動(dòng)層，形成在所述襯底上方并且覆蓋所述空腔，其中，在空腔上方的壓電復(fù)合振動(dòng)層具有間隙，所述間隙從所述壓電復(fù)合振動(dòng)層的上表面延伸穿透至所述壓電復(fù)合振動(dòng)層的下表面，并且所述間隙與所述空腔連通，所述間隙將所述壓電復(fù)合振動(dòng)層分割為外圍的懸臂梁膜和中心的振膜。本申請(qǐng)?zhí)岣吡薓EMS結(jié)構(gòu)的靈敏度、可靠性。另外，本申請(qǐng)還提供了該MEMS結(jié)構(gòu)的制造方法。