一種晶圓加工用切面拋光裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022493564.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214559899U 公開（公告）日 2021-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN214559899U 申請(qǐng)公布日 2021-11-02
分類號(hào) B24B29/02（2006.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B41/02（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 殷澤安;殷志鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州譯品芯半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京化育知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 尹均利
地址 215143江蘇省蘇州市相城區(qū)黃埭鎮(zhèn)春旺路12號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓加工用切面拋光裝置，其技術(shù)方案是：包括箱體，所述箱體頂端固定連接有電機(jī)，所述箱體內(nèi)部設(shè)有拋光機(jī)構(gòu)，一種晶圓加工用切面拋光裝置有益效果是：本實(shí)用新型通過拋光機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)，當(dāng)電機(jī)正轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)套筒和皮帶裝置轉(zhuǎn)動(dòng)，皮帶裝置帶動(dòng)伸縮桿和打磨片移動(dòng)，且轉(zhuǎn)動(dòng)軸與第一往復(fù)絲桿不轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)電機(jī)反轉(zhuǎn)時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)軸帶動(dòng)第一往復(fù)絲桿和第二往復(fù)絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)，第一往復(fù)絲桿帶動(dòng)第一軸承座和連接板移動(dòng)，此時(shí)連接板帶動(dòng)伸縮桿上下移動(dòng)第二往復(fù)絲桿帶動(dòng)第二軸承座、豎桿和方形伸縮桿移動(dòng)，方形伸縮桿帶動(dòng)真空吸盤移動(dòng)，真空吸盤頂部吸附有晶圓，從而對(duì)晶圓有效進(jìn)行打磨。