一種芯片表面檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921147772.2 申請日 -
公開（公告）號 CN210442278U 公開（公告）日 2020-05-01
申請公布號 CN210442278U 申請公布日 2020-05-01
分類號 G01N21/88;G01N21/01 分類 測量；測試;
發(fā)明人 殷澤安;殷志鵬 申請（專利權）人 蘇州譯品芯半導體有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 215143 江蘇省蘇州市相城區(qū)黃埭鎮(zhèn)春旺路12號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種芯片表面檢測裝置，包括支撐腳，所述支撐腳的上端固定連接有工作臺，所述工作臺上端面上固定安裝有放置臺，工作臺上方通過連接桿固定安裝有底板，所述底板上設置安裝有移動座，所述移動座由驅動機構驅動，移動座的下端面上固定安裝有相機和一組光源，所述光源環(huán)形陣列分布在相機的四周，工作臺上轉動安裝有防護罩，所述防護罩上設置安裝有自動開合機構。本實用新型是一種結構簡單，自動化程度高，可減輕認為誤差提高檢測準確率的芯片表面檢測裝置。