一種防塵式晶圓加工切面打磨裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022495740.0 申請日 -
公開（公告）號 CN213646936U 公開（公告）日 2021-07-09
申請公布號 CN213646936U 申請公布日 2021-07-09
分類號 B24B7/22（2006.01）I;B24B27/00（2006.01）I;B24B7/17（2006.01）I;B24B55/06（2006.01）I;B24B55/02（2006.01）I;B24B41/02（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;F26B21/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 殷澤安;殷志鵬 申請（專利權）人 蘇州譯品芯半導體有限公司
代理機構 北京化育知識產權代理有限公司 代理人 尹均利
地址 215143江蘇省蘇州市相城區(qū)黃埭鎮(zhèn)春旺路12號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于晶圓技術領域，尤其為一種防塵式晶圓加工切面打磨裝置，包括底座，所述底座的上方設置有殼體，所述底座的一端設置有水箱，所述殼體的一側設置有烘干箱。該防塵式晶圓加工切面打磨裝置，通過抽風機在打磨過程中將產生的碎屑收集進收屑盒的方式，結構簡單，操作方便，而且由于打磨是在殼體中進行，能夠有效的防止碎屑飛揚，減少環(huán)境污染，避免了碎屑對工作人員造成危害，打磨完成后再通過出水口噴灑清水一方面起到降塵的作用，另一方面能夠對工作臺進行沖洗，便于下次使用，解決了以往的晶圓打磨裝置難以對碎屑清理干凈的問題，通過設置第一打磨結構和第二打磨結構能夠同時對晶圓的兩個切面進行打磨，能夠提高加工效率。