游星輪組合件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721763270.3 申請日 -
公開（公告）號 CN208895850U 公開（公告）日 2019-05-24
申請公布號 CN208895850U 申請公布日 2019-05-24
分類號 B24B37/28（2012.01）I; B24B37/08（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 馮光建; 夏秋良 申請（專利權(quán)）人 新美光（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 蘇州新美光納米科技有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城NW-20#107、108、109、110
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供游星輪組合件，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。涉及游星輪組合件，包括游星輪本體和治具，所述游星輪本體內(nèi)設(shè)置有用于放置治具的第一開孔，所述治具與所述第一開孔的內(nèi)壁固定；所述治具的外徑輪廓與所述第一開孔的內(nèi)徑輪廓相適應(yīng)，所述治具鑲嵌在所述第一開孔的內(nèi)壁上。采用本技術(shù)方案，能夠?qū)崿F(xiàn)游星輪在拋光機里面的長時間轉(zhuǎn)動，使待拋光件可以鑲嵌到治具中，而治具可以鑲嵌到游星輪本體中，這樣在后續(xù)拋光時，只需要更換不同的治具，而只需要一副游星輪就能夠?qū)崿F(xiàn)同樣的拋光。