一種硅片轉(zhuǎn)移裝置及硅片測(cè)試裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910236940.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109904103A 公開（公告）日 2019-06-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN109904103A 申請(qǐng)公布日 2019-06-18
分類號(hào) H01L21/677（2006.01）I; H01L21/683（2006.01）I; H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 夏秋良; 范雪峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 新美光（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 蘇州新美光納米科技有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城NW-20#107、108、109、110
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種硅片轉(zhuǎn)移裝置及硅片測(cè)試裝置，屬于半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域。硅片轉(zhuǎn)移裝置包括：本體、多個(gè)機(jī)械臂、吸附件。該多個(gè)機(jī)械臂分別獨(dú)立可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于本體。該多個(gè)機(jī)械臂中的每一個(gè)機(jī)械臂包括桿體。其中，桿體的兩端分別與本體、吸附件連接，吸附件被構(gòu)造來吸附硅片且允許硅片選擇性地脫吸附。該轉(zhuǎn)移裝置具有多種工作姿態(tài)，并且由此可以使控制的硅片進(jìn)行多種姿態(tài)之間的按需轉(zhuǎn)換，以便達(dá)到配合適當(dāng)設(shè)備對(duì)硅片進(jìn)行諸如分選、檢測(cè)的操作。