硅棒研磨機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010995008.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114131480A 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN114131480A 申請公布日 2022-03-04
分類號 B24B27/00（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I;B24B41/02（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 盧建偉;李鑫;錢春軍;曹奇峰;張峰 申請（專利權(quán)）人 天通日進精密技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 上海巔石知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張明;王再朝
地址 314400浙江省嘉興市海寧經(jīng)濟開發(fā)區(qū)雙聯(lián)路129號6號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開一種硅棒研磨機，包括機座、硅棒轉(zhuǎn)運裝置、粗磨裝置、以及精磨裝置，其中，所述機座具有硅棒加工平臺，所述硅棒加工平臺上設(shè)有第一加工區(qū)位和第二加工區(qū)位，硅棒轉(zhuǎn)運裝置包括轉(zhuǎn)運主體及多個硅棒夾具和換位機構(gòu)，利用換位機構(gòu)驅(qū)動多個硅棒夾具及其所夾持的硅棒在第一加工區(qū)位和第二加工區(qū)位上轉(zhuǎn)換位置以令粗磨裝置能對硅棒進行粗磨作業(yè)及精磨裝置能對硅棒進行精磨作業(yè)，使得在同一時刻所述硅棒研磨機中的粗磨裝置和精磨裝置均處于工作狀態(tài)，可提升硅棒研磨效率及縮減研磨作業(yè)耗時，且可提升經(jīng)濟效益。