硅棒研磨機(jī)及硅棒研磨方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011521314.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114102376A 公開（公告）日 2022-03-01
申請公布號 CN114102376A 申請公布日 2022-03-01
分類號 B24B27/00（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B47/00（2006.01）I;B24B47/04（2006.01）I;B24B49/00（2012.01）I;B24B41/02（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 蘇靜洪;李鑫;錢春軍;曹奇峰;盧建偉 申請（專利權(quán)）人 天通日進(jìn)精密技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海巔石知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張明;王再朝
地址 314400浙江省嘉興市海寧經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)雙聯(lián)路129號6號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開一種硅棒研磨機(jī)及硅棒研磨方法，硅棒研磨機(jī)包括機(jī)座、第一硅棒夾具、第二硅棒夾具、粗磨裝置及精磨裝置，粗磨裝置具有相對設(shè)置的至少一對粗磨磨具，精磨裝置具有相對設(shè)置的至少一對精磨磨具，粗磨裝置和精磨裝置設(shè)于一換位機(jī)構(gòu)上，通過協(xié)調(diào)控制第一硅棒夾具、第二硅棒夾具與粗磨裝置、精磨裝置，使得在同一時刻硅棒研磨機(jī)中的粗磨裝置和精磨裝置均處于工作狀態(tài)，通過控制換位機(jī)構(gòu)以驅(qū)動粗磨裝置和精磨裝置在第一加工區(qū)位和第二加工區(qū)位之間轉(zhuǎn)換位置，使得位于第一加工區(qū)位的第一硅棒夾具或第二加工區(qū)位的第二硅棒夾具所夾持的硅棒在對應(yīng)的加工區(qū)位上即可完成粗磨作業(yè)和精磨作業(yè)，提升了硅棒研磨效率及經(jīng)濟(jì)效益。