一種硅棒粘接裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111380854.3 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN114318548A 公開（公告）日 2022-04-12
申請公布號(hào) CN114318548A 申請公布日 2022-04-12
分類號(hào) C30B33/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 周麗佳;吳張琪;裴忠;張王鋒;陸吳強(qiáng);俞佳文 申請（專利權(quán)）人 天通日進(jìn)精密技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 金亞丁
地址 314400浙江省嘉興市海寧經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)雙聯(lián)路129號(hào)6號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅棒粘接裝置，包括：翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括平移組件、翻轉(zhuǎn)組件與載物組件，所述平移組件帶動(dòng)翻轉(zhuǎn)組件進(jìn)行直線平移，所述翻轉(zhuǎn)組件帶動(dòng)載物組件發(fā)生0~90°的轉(zhuǎn)動(dòng)，所述載物組件用以承載硅棒；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括支架與設(shè)置在支架上的旋轉(zhuǎn)底座、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)底座發(fā)生0~360°的自轉(zhuǎn)，所述旋轉(zhuǎn)底座用以承載豎直放置的硅棒；搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，所述搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包括X軸運(yùn)動(dòng)組件、Y軸運(yùn)動(dòng)組件、Z軸運(yùn)動(dòng)組件以及插爪；夾持機(jī)構(gòu)，所述夾持機(jī)構(gòu)包括X向平移部組、Y向升降部組、旋轉(zhuǎn)部組以及夾緊部組；輸送機(jī)構(gòu)，所述輸送機(jī)構(gòu)用以輸送粘接完成的硅棒。本發(fā)明可以提高生產(chǎn)效率以及產(chǎn)品質(zhì)量。