真空吸附式叉形末端夾持器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021228005.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN212331075U 公開(kāi)（公告）日 2021-01-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN212331075U 申請(qǐng)公布日 2021-01-12
分類號(hào) B25J15/06 分類 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 何瑞;郭梅;劉丹;韓浚源 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 昀智科技（北京）有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中索知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 昀智科技（北京）有限責(zé)任公司
地址 102300 北京市門(mén)頭溝區(qū)蓮石湖西路98號(hào)院5號(hào)樓703室-1（智創(chuàng)空間）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)一種真空吸附式叉形末端夾持器,包括：本體；法蘭,法蘭位于本體一端；和吸盤(pán),吸盤(pán)位于本體另一端,并通過(guò)本體與法蘭呈一體結(jié)構(gòu),吸盤(pán)的端緣部開(kāi)設(shè)有叉形缺口。目前行業(yè)中常使用中心接觸的方式來(lái)拾取晶圓片，但對(duì)于大尺寸，超薄晶圓片來(lái)說(shuō)，僅僅依靠中間接觸，會(huì)造成晶圓的邊緣區(qū)域受自重影響而下垂，造成整片晶圓片的變形，同時(shí)也會(huì)降低晶圓片在搬運(yùn)過(guò)程中的穩(wěn)定性。通過(guò)實(shí)施本實(shí)用新型的技術(shù)方案，吸盤(pán)為叉形結(jié)構(gòu)，與晶圓片接觸時(shí)，能有效防止晶圓片邊緣下垂；通過(guò)叉形吸盤(pán)上三個(gè)溝槽的設(shè)置，保證夾持器在拾取大尺寸、超薄晶圓片時(shí)可以向整個(gè)晶圓面提供穩(wěn)定而均勻的吸附力和支撐，從而保證晶圓片在搬運(yùn)過(guò)程中的穩(wěn)定性。