用于晶圓搬運機器人的雙臂水平運動結構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110217024.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112828867A 公開（公告）日 2021-05-25
申請公布號 CN112828867A 申請公布日 2021-05-25
分類號 B25J9/00;B25J11/00 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設備；機械手;
發(fā)明人 何瑞;郭梅;劉丹;韓浚源 申請（專利權）人 昀智科技（北京）有限責任公司
代理機構 北京中索知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 胡大成
地址 102300 北京市門頭溝區(qū)蓮石湖西路98號院5號樓703室-1（智創(chuàng)空間）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于晶圓搬運機器人的雙臂水平運動結構，包括骨架結構、雙臂結構和驅動結構；雙臂結構包括結構相同的兩組運動結構，運動結構分別相對設置并安裝在骨架結構兩側；驅動結構分別位于雙臂結構兩側，驅動雙臂結構在水平方向往復運動。通過采用帶傳動結構，把滑動連接塊運動路徑上的空隙遮蔽起來，減少了結構內(nèi)部與外部環(huán)境的空氣對流，確保結構內(nèi)部的顆粒和粉塵不會逸散到外部空間中去，從而達到高等級超凈環(huán)境中安裝使用的要求；主動輪支架與主動輪轉動連接，對主動輪起到輔助支撐的作用，提高主動輪轉動時的穩(wěn)定性；通過調(diào)整調(diào)節(jié)螺釘?shù)纳斐鲩L度來調(diào)節(jié)從動輪與同步帶的相對位置，進而來調(diào)節(jié)同步帶的張力，因此提高運動時的穩(wěn)定性。