適用于OVD沉積設備的在線清洗系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010734185.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111921996A 公開（公告）日 2020-11-13
申請公布號 CN111921996A 申請公布日 2020-11-13
分類號 B08B9/032;B08B9/093 分類 清潔;
發(fā)明人 崔東明;孔明;伍淑堅 申請（專利權）人 武漢烽火銳拓科技有限公司
代理機構 武漢智權專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 武漢烽火銳拓科技有限公司;烽火通信科技股份有限公司
地址 430000 湖北省武漢市東湖高新技術開發(fā)區(qū)高新四路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及適用于OVD沉積設備的在線清洗系統(tǒng)及方法，清洗劑儲罐上設有廢氣排放閥；第一管路兩端連通于清洗劑儲罐，沿清洗劑流向，第一管路上依次設有輸送泵、第一清洗劑閥和第二清洗劑閥，第一管路位于第一清洗劑閥與第二清洗劑閥之間的管段斷開，以形成分別連通蒸發(fā)器進口和加熱料管出口的第一端口和第二端口；氣體吹掃裝置通過吹掃進氣閥連接于第一管路上，并位于第一清洗劑閥下游；控制裝置與廢氣排放閥、輸送泵、第一清洗劑閥、第二清洗劑閥、氣體吹掃裝置和吹掃進氣閥相連，并控制廢氣排放閥、輸送泵、第一清洗劑閥、第二清洗劑閥、氣體吹掃裝置和吹掃進氣閥工作。本申請能解決相關技術中無法快速有效地清除粘稠硅油或彈性凝膠的問題。