多臺(tái)測(cè)試設(shè)備批量測(cè)試的精度一致性修正方法和系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710775817.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107706121B 公開（公告）日 2020-05-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN107706121B 申請(qǐng)公布日 2020-05-26
分類號(hào) H01L21/66;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 顧漢玉;張建文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 華潤賽美科微電子（深圳）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 華潤賽美科微電子（深圳）有限公司
地址 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍工業(yè)區(qū)寶龍五路5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種多臺(tái)測(cè)試設(shè)備批量測(cè)試的精度一致性修正方法和系統(tǒng)，包括：使用所述多臺(tái)測(cè)試設(shè)備對(duì)標(biāo)定元件進(jìn)行測(cè)試，根據(jù)測(cè)出的值得到各測(cè)試設(shè)備的相對(duì)修正系數(shù)，每臺(tái)測(cè)試設(shè)備上設(shè)有標(biāo)定元件，標(biāo)定元件的精度高于所述多臺(tái)測(cè)試設(shè)備的測(cè)試精度；使用所述多臺(tái)測(cè)試設(shè)備批量測(cè)試待測(cè)元件，將從測(cè)試設(shè)備直接讀取的值作為各待測(cè)元件的實(shí)測(cè)值；通過待測(cè)元件使用的測(cè)試設(shè)備的相對(duì)修正系數(shù)對(duì)實(shí)測(cè)值進(jìn)行修正，得到所述待測(cè)元件的實(shí)際值。上述多臺(tái)測(cè)試設(shè)備批量測(cè)試的精度一致性修正方法和系統(tǒng)，通過各測(cè)試設(shè)備的相對(duì)修正系數(shù)來保證待測(cè)元件的精度加工，不需要逐個(gè)調(diào)整測(cè)試設(shè)備到標(biāo)準(zhǔn)機(jī)的精度標(biāo)準(zhǔn)就能保證待測(cè)元件的加工精度，省時(shí)省力，加工效率明顯提高。