一種DMD多區(qū)域激光投影系統(tǒng)及曝光方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201811151981.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN109116686B | 公開（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申請公布號 | CN109116686B | 申請公布日 | 2021-05-07 |
| 分類號 | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 張雷 | 申請（專利權(quán)）人 | 蘇州源卓光電科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 王新生 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)汀蘭巷192號C5幢102室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種DMD多區(qū)域激光投影系統(tǒng)及曝光方法，包括DMD控制系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、掩膜板、分圖系統(tǒng)及運動控制系統(tǒng)，本發(fā)明在單個DMD上顯示多個曝光圖形，配合光學(xué)系統(tǒng)，把多個曝光圖形映射到掩膜板的不同曝光區(qū)域進行曝光，整個系統(tǒng)可以使用單個DMD或多個DMD同時曝光，按此發(fā)明的方法曝光可以快速提高曝光整體時間，同時又節(jié)約DMD的物料成本。?? |
