一種基于磁控濺射的光纖鍍膜裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021000770.3 申請日 -
公開（公告）號 CN212247193U 公開（公告）日 2020-12-29
申請公布號 CN212247193U 申請公布日 2020-12-29
分類號 C23C14/35;C23C14/54;C23C14/50 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 尹志軍;許皓煒;崔國新;陳玉桃;許志城 申請（專利權(quán)）人 南京南智先進(jìn)光電集成技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 南京南智先進(jìn)光電集成技術(shù)研究院有限公司
地址 210000 江蘇省南京市江北新區(qū)研創(chuàng)園團(tuán)結(jié)路99號孵鷹大廈690室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及光纖鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種基于磁控濺射的光纖鍍膜裝置，包括：鍍膜腔室、靶材組件及光纖組件；靶材組件包括靶材、固定在靶材頂端的第一齒輪盤及底端的第二齒輪盤；光纖組件包括第一傳導(dǎo)齒輪、第二傳導(dǎo)齒輪、用于夾持光纖的第一光纖夾具及第二光纖夾具；第一光纖夾具的第一主軸與第一傳導(dǎo)齒輪之間通過第一皮帶輪實(shí)現(xiàn)同步傳動；第二光纖夾具的第二主軸與第二傳導(dǎo)齒輪之間通過第二皮帶輪實(shí)現(xiàn)同步傳動；鍍膜腔室的頂部及底部對稱開設(shè)有弧形限位槽，第一主軸及第二主軸能夠共同沿著弧形限位槽進(jìn)行移動，以改變光纖與靶材的間距。使用上述公開的裝置進(jìn)行光纖鍍膜時，可以事先調(diào)節(jié)靶材與光纖之間的距離，進(jìn)而提高最終的鍍膜效果。