光敏樹(shù)脂組合物、圖案形成方法及基板保護(hù)用覆膜的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010232187.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113448171A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113448171A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-28 |
| 分類號(hào) | G03F7/075（2006.01）I;G03F7/00（2006.01）I;G03F7/11（2006.01）I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 柳善;吳賢珠 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州深通新材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都超凡明遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 魏彥;金相允 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市中國(guó)（江蘇）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城西北區(qū)12幢401-102 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供負(fù)型光敏樹(shù)脂組合物、利用該組合物的圖案的形成方法及基板保護(hù)用覆膜的制備方法，負(fù)型光敏樹(shù)脂組合物包含：含有以下述化學(xué)式1及2表示的重復(fù)單位的光敏樹(shù)脂、官能單體及光引發(fā)劑。本發(fā)明的負(fù)型光敏樹(shù)脂組合物包含具有呫噸骨架的硅氧烷樹(shù)脂，從而具有耐熱性、基板硬度及基板密合性等優(yōu)異的物性。[化學(xué)式1][化學(xué)式2] |
