單晶硅清洗槽潔凈度監(jiān)測(cè)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201220135192.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN202509158U | 公開(kāi)（公告）日 | 2012-10-31 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN202509158U | 申請(qǐng)公布日 | 2012-10-31 |
| 分類號(hào) | C30B33/10(2006.01)I;C23G3/00(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 韓波;袁前程;高常輝;丁杰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 寧波升科太陽(yáng)能股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州金源通匯專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 寧波升科太陽(yáng)能股份有限公司 |
| 地址 | 315040 浙江省寧波市高新區(qū)凌云路1177號(hào)-7號(hào)樓（寧波升科太陽(yáng)能股份有限公司） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種單晶硅清洗槽潔凈度監(jiān)測(cè)裝置，包括安裝壁以及兩側(cè)邊與安裝壁固定連接的清洗槽，其特征是安裝壁上設(shè)有監(jiān)控清洗槽清潔度的紅外感應(yīng)攝像裝置，安裝壁外側(cè)還設(shè)有與紅外感應(yīng)攝像裝置相連接的控制電腦。本實(shí)用新型得到的單晶硅清洗槽潔凈度監(jiān)測(cè)裝置,能夠準(zhǔn)確判斷槽體的狀況，根據(jù)槽體的潔凈度及時(shí)的處理槽體濃度，消除飄片影響，節(jié)省時(shí)間，提高效率且增加了收益，也有益于操作人員的健康。 |
