一種多晶鑄錠爐
基本信息

| 申請?zhí)?/td> | CN201410526717.X | 申請日 | - |
| 公開(公告)號 | CN104250851A | 公開(公告)日 | 2014-12-31 |
| 申請公布號 | CN104250851A | 申請公布日 | 2014-12-31 |
| 分類號 | C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 王土軍;徐聞韜;徐增宏 | 申請(專利權(quán))人 | 浙江硅宏電子科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 杭州九洲專利事務所有限公司 | 代理人 | 陳繼亮 |
| 地址 | 324300 浙江省衢州市開化縣華埠鎮(zhèn)華豐路28號硅宏 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要

| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種多晶鑄錠爐,該多晶鑄錠爐的坩堝位于隔熱籠中,坩堝頂部以及隔熱籠內(nèi)設有頂部加熱器,坩堝兩側(cè)以及隔熱籠內(nèi)設有側(cè)部加熱器,坩堝底部設有熱交換塊,熱交換塊呈凸形且凸起的一面與坩堝底部接觸,在熱交換塊上部凸起部分四周設置有隔熱條,在熱交換塊下部平板部分四周設置有保溫氈且至少超出熱交換塊的平板部分的底部10㎝以上。采用本發(fā)明,由于熱交換塊呈中間厚兩側(cè)薄,隔熱條可以延緩中間(即凸起部分)向兩側(cè)的散熱,保溫氈超出熱交換塊下部使底部有足夠的大縱向溫度梯度,使熱量能均勻的從熱交換塊下面輻射出來,促進均勻長晶,提高鑄錠品質(zhì),又能充分保留爐體內(nèi)足夠多不熔化的硅料有利于下次鑄錠。 |





