單片集成式VCSEL芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010919648.4 申請日 -
公開(公告)號 CN114142346A 公開(公告)日 2022-03-04
申請公布號 CN114142346A 申請公布日 2022-03-04
分類號 H01S5/42(2006.01)I;H01S5/183(2006.01)I;H01S5/187(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭銘浩;林珊珊;王立;李念宜 申請(專利權)人 浙江睿熙科技有限公司
代理機構 上海領洋專利代理事務所(普通合伙) 代理人 羅曉飛
地址 311113浙江省杭州市良渚街道通運街358號2幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種單片集成式VCSEL芯片,其包括第一VCSEL子芯片,所述第一VCSEL芯片包括以第一陣列布設的多個第一VCSEL單元;以及與所述第一VCSEL子芯片單片集成地第二VCSEL子芯片,所述第二VCSEL子芯片包括以第二陣列布設的多個第二VCSEL單元;其中,所述第一VCSEL子芯片與所述第二VCSEL子芯片在結構上共用N?DBR結構。這樣,所述單片集成式VCSEL芯片在晶圓級別上實現將多個VCSEL芯片進行單片地集成,以使得其能夠兼具不同的VCSEL芯片各自的優(yōu)勢,且具有相對較小的整體尺寸。