防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520826715.2 申請日 -
公開（公告）號 CN205077128U 公開（公告）日 2016-03-09
申請公布號 CN205077128U 申請公布日 2016-03-09
分類號 C23C14/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 由龍;黃振革 申請（專利權）人 山東金鼎電子材料有限公司
代理機構 北京海虹嘉誠知識產權代理有限公司 代理人 陳雙喜
地址 271100 山東省萊蕪市鋼城經濟開發(fā)區(qū)小上峪村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置包括密封腔體，以及設置于密封腔體內的放料輥、卷取輥、濺射主輥、靶材，所述放料輥及卷取輥分別位于密封腔體內兩側，所述濺射主輥處于放料輥與卷取輥之間的下方。本實用新型在現(xiàn)有技術的基礎上通過對濺射主輥內部設水循環(huán)系統(tǒng)，使濺射主輥和第一收料導輥與地線相連接，在卷取輥旁設一除靜電裝置，增加張力擺輥和展平輥等技術改良，有效地減少熱損傷、變形、電擊人體等現(xiàn)象的發(fā)生，使ITO薄膜的生產過程更加安全、高效，其產品更加美觀，提高優(yōu)品率。