一種單晶硅生產(chǎn)加工拉晶爐的冷卻裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021909445.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212983094U | 公開（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申請公布號 | CN212983094U | 申請公布日 | 2021-04-16 |
| 分類號 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 凌繼貝;張忠華;張俊;吳雄 | 申請（專利權(quán)）人 | 內(nèi)蒙古豪安能源科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市威世博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張靜 |
| 地址 | 014100內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市土默特右旗新型工業(yè)園區(qū)光伏光電產(chǎn)業(yè)園1號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種單晶硅生產(chǎn)加工拉晶爐的冷卻裝置，包括底座、籽晶和冷卻裝置，本實(shí)用新型通過在爐體內(nèi)部上端設(shè)置了冷卻裝置，依次將進(jìn)水管和出水管與外部水冷設(shè)備連接，然后在將進(jìn)氣管和出氣管與外部惰性氣體設(shè)備連接，然后在外部水冷設(shè)備與外部惰性氣體設(shè)備的運(yùn)行作用下，使水冷管實(shí)現(xiàn)冷卻箱內(nèi)部的循環(huán)活動(dòng)，而在惰性氣體循環(huán)下，進(jìn)一步加大冷卻箱內(nèi)部冷卻效果，然后單晶棒移入到冷卻箱中部時(shí)，會(huì)在冷卻箱內(nèi)部冷卻效果下，實(shí)現(xiàn)對單晶棒的冷卻，避免單晶棒生長缺陷，從而達(dá)到了提高對單晶硅生產(chǎn)速率，避免生產(chǎn)缺陷的優(yōu)點(diǎn)。?? |
