諧振器及諧振器的制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210367023.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114665839A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114665839A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | H03H9/17（2006.01）I;H03H9/13（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 高安明;姜偉 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 浙江星曜半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 325038浙江省溫州市浙南科技城創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)新天地一期1號(hào)樓506室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明實(shí)施例屬于電子器件技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種諧振器及諧振器的制作方法。包括襯底和依次層疊設(shè)置在襯底上的下電極層、壓電層以及上電極層，襯底設(shè)置有懸空腔體，下電極層、壓電層以及上電極層的重疊區(qū)域構(gòu)成有效區(qū)域，上電極層具有凹陷結(jié)構(gòu)，上電極層背離襯底的一側(cè)還覆蓋有凸起結(jié)構(gòu)，凹陷結(jié)構(gòu)和凸起結(jié)構(gòu)均位于有效區(qū)域內(nèi)，在平行于襯底的方向上，凹陷結(jié)構(gòu)與凸起結(jié)構(gòu)之間具有預(yù)設(shè)距離。通過(guò)在凹陷結(jié)構(gòu)和凸起結(jié)構(gòu)之間設(shè)置預(yù)設(shè)距離，有利于調(diào)整雜散模的整體的抑制效果，從而提高諧振器性能。 |
