一種雙保護(hù)環(huán)結(jié)構(gòu)的新型SPAD探測(cè)器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810826015.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110767767A 公開（公告）日 2020-02-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN110767767A 申請(qǐng)公布日 2020-02-07
分類號(hào) H01L31/107 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 毛成;卜曉峰;孔祥順;吳俊輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州超銳微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215011 江蘇省蘇州市高新區(qū)竹園路209號(hào)創(chuàng)業(yè)園3號(hào)樓1201室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種雙保護(hù)環(huán)結(jié)構(gòu)的新型SPAD探測(cè)器，采用p+層和n?type層之間形成的pn結(jié)作為反應(yīng)結(jié)，p+層四周設(shè)計(jì)pwell阱作為第一保護(hù)環(huán)；同時(shí)，pwell保護(hù)環(huán)上方設(shè)計(jì)一層poly層，與pn結(jié)陰極相連施加高電位，作為第二保護(hù)環(huán)。第一保護(hù)環(huán)和第二保護(hù)環(huán)共同作用，能有效降低邊緣電場(chǎng)，減小暗計(jì)數(shù)。